MEMS【メムス】

Micro Electro Mechanical Systemsの略。シリコン等の微細加工技術で製造した超小型のセンサー・アクチュエーターシステムのこと。住宅分野ではガス・水道の微小流量センサーや気圧・加速度センサーとして組み込まれ、スマートメーターやIoT住宅設備に応用されている。